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    賀德克壓力傳感器擴散式壓阻傳感器的應用原理

    2020-07-24 14:33

           賀德克壓力傳感器固體受到力的作用后,其電阻率(或電阻)就要發生變化,這種現象稱為壓阻效應。壓阻式傳感器是利用固體的壓阻效應制成的一種測量裝置??梢苑譃椋赫迟N型壓阻式傳感器(傳感元件是用半導體材料的體電阻制成的粘貼式應變片)和擴散型壓阻式傳感器(傳感元件是利用集成電路工藝,在半導體材料的基片上制成的擴散電阻)。壓阻式壓力傳感器與普通金屬應變計的基本原理都是利用測量電路和電阻的變化來測量壓力的變化,但兩者的電阻變化的原因不同??梢酝ㄟ^公式來分析。
     
           賀德克壓力傳感器的擴散式壓阻傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發生變化,通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉變為力的變化的其他物理量(如液位、加速度、重量、應變、流量、真空度)的測量和控制。當力作用于硅晶體時, 晶體的晶格產生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發生變化,擾動了載流子縱向和橫向的平均量,從而使硅的電阻率發生變化。這種變化隨晶體的取向不同,因此硅的壓阻效應與晶體的取向有關。
     

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