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    賀德克壓力傳感器的振膜式諧振壓力原理

    2020-04-20 15:26

           賀德克壓力傳感器振膜式諧振壓力傳感器,其振膜為一個平膜片,且與環形殼體做成整體結構,它和基座構成密封的壓力測量室,被測壓力經過導壓管進入壓力測量室內。參考壓力室可以通大氣用于測量表壓,也可以抽成真空測量絕壓。裝于基座頂部的電磁線圈作為激振源給膜片提供激振力,當激振頻率與膜片固有頻率一致時,膜片產生諧振。沒有壓力時,膜片是平的,當有壓力作用時,膜片受力變形,其張緊力增加,則相應的諧振頻率也隨之增加,頻率隨壓力變化且為單值函數關系。在膜片上粘貼有應變片,它可以輸出一個與諧振頻率相同的信號。此信號經放大器放大后,再反饋給激振線圈以維持膜片的連續振動,構成一個閉環正反饋自激振蕩系統。
     
          賀德克壓力傳感器常用的壓電材料有天然的壓電晶體(如石英晶體)和壓電陶瓷(如鈦酸鋇)兩大類。壓力傳感器的某些電介質沿著某一個方向受力而發生機械變形(壓縮或伸長)時,其內部將發生極化現象,而在其某些表面上會產生電荷。當外力去掉后,它又會重新回到不帶電的狀態,此現象稱為“壓電效應”。

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